本課程為大學部電子類必選課之一，所講述之內容為積體電路中各種電子元件之製造技
術，為微電子相關學門之基本課程。積體電路技術是現今電子業之礎石，且應用於各種光
電元件製程，本課程所涵誘漁e，學生不論將來從事電子或光電相關之研究，本課程所
給之觀念應有所助益。本課程之後可選修「固態電子學」，或選修研究所之「微影術原
理」、「光學」、「積體電路工程」、「光電半導體技術」等相關課程。
內容大綱：

※期中考(2hr)： ;期末報告 ;期末考

1.簡介 (Introduction ): [1,19]
2. IC製造簡介 (Introduction to IC Fabrication): [1,19]
3.半導體基礎 (Semiconductor Basics): [2,3,5]
4.晶圓製造 (Wafer Manufacturing) [4,6]
5.熱製程 (Thermal Processes) [10]
6.光學微影術 (Photolithography) [13,14,15]
7.電漿基礎 (Plasma Basics) [8]
8.離子佈植(Ion Implantation) [17]
9.蝕刻(Etch) [16]
10.化學氣相沉積及介電質薄膜(CVD and Dielectric Thin Film) [11]
11.金屬沉積術 (Metallization) [12]
12.化學機械研磨 (Chemical Mechanical Polishing) [18]
13.製程整合 (Process Integration) [9]
14. CMOS製程與構裝(CMOS Processes and Packaging) [20]
※括號內的數字代表對應於書目二參考書的內容。